盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型*1電子顯微鏡，仍可實(shí)現(xiàn)4.0 nm的分辨率
憑借特的高靈敏度二次電子、背散射電子檢測器、低真空檢測器（UVD*2），可在低加速/低真空下觀察時實(shí)現(xiàn)高的畫質(zhì)
全新的用戶界面，無論用戶的熟練程度如何，都可實(shí)現(xiàn)高畫質(zhì)和高處理能力
全新的定位功能“SEM MAP”，支持觀察時的視野搜索和樣品定位
*1 設(shè)置到桌面上時，請將機(jī)體與電源盒分離
*2 選項(xiàng)
日立(Hitachi)掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000 II規(guī)格：
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項(xiàng)目 |
內(nèi)容 |
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分辨率*3 |
4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式） |
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加速電壓 |
0.3 kV～20 kV |
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倍率 |
×6～×300,000 （照片倍率） |
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低真空設(shè)置 |
6～100 Pa |
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電子槍 |
預(yù)對中鎢燈絲電子槍 |
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樣品臺 |
3軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺 |
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大樣品尺寸 |
直徑80 mm（選配：直徑153mm） |
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大樣品高度 |
40 mm |
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尺寸 |
機(jī)體：450（寬度）×640（進(jìn)深）×690（高度） mm |
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選項(xiàng) |
高度低真空檢測器（UVD2.0） 能量色散型X射線檢測器（EDS） |
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軟件 |
Multi Zigzag（連續(xù)視野圖像導(dǎo)入功能） |
*PC、桌子、監(jiān)控器由客戶準(zhǔn)備
*3機(jī)體和電源盒連接時候
*4使用標(biāo)準(zhǔn)支架時
